[发明专利]一种用于气体检测的真空电离非连续性进样方法有效
| 申请号： | 201810027278.6 | 申请日： | 2018-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN108198743B | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 余泉;王晓浩;李曼;倪凯;钱翔 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | H01J49/26 | 分类号： | H01J49/26;G01N27/68 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 王震宇 |
| 地址： | 518055 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种用于气体检测的真空电离非连续性进样装置和方法，该装置包括包括进气管、设置在所述进气管上的脉冲阀、质谱仪腔体、与所述质谱仪腔体相连的真空泵、以及位于所述质谱仪腔体内的离子阱与电离源，待测样品气体样品进入所述进气管，经过脉冲阀后非连续地进入到所述质谱仪腔体内，并在所述离子阱内进行气体样品电离，其中所述离子阱的内部具有可透过电场的非金属套管，并经设置使得离子的出射路径通过所述非金属套管，延长离子存留在所述离子阱内的时间，提高离子的电离效率，另外，提高小型化质谱仪进入腔体的气体样品的占空比、保持腔体的真空度，减小真空泵的压力，同时在腔体内进行电离有助于减小离子传输损耗，提高小型化质谱仪的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 气体 检测 真空 电离 连续性 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于气体检测的真空电离非连续性进样装置，其特征在于,包括进气管、设置在所述进气管上的脉冲阀、质谱仪腔体、与所述质谱仪腔体相连的真空泵、以及位于所述质谱仪腔体内的离子阱与电离源，待测样品气体样品进入所述进气管，经过脉冲阀后非连续地进入到所述质谱仪腔体内，并在所述离子阱内进行气体样品电离，其中所述离子阱的内部具有可透过电场的非金属套管，并经设置使得离子的出射路径通过所述非金属套管，延长离子存留在所述离子阱内的时间。
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