[发明专利]基板搬运装置、基板搬运方法以及基板处理装置

摘要

本发明涉及一种基板搬运装置、基板搬运方法以及基板处理装置，不需要在以浮起状态搬运的基板的上方设置较大的空间，就能够搬入或搬出基板。在本发明的基板搬运装置(1)中，在夹具(51)保持基板W搬运时，出口浮起载物台(33)和辊柱式输送机(41)处于比搬运的基板W的下表面更低的位置。当夹具(51)到达搬运结束位置时，则出口浮起载物台(33)和辊柱式输送机(41)上升，来使基板W与夹具(51)分离。通过使辊柱式输送机41旋转来搬出基板W。

主权项

1.一种基板搬运装置，其特征在于，具有：搬运部，该搬运部的保持部位移动来搬运所述基板，所述保持部位对基板的下表面进行局部保持；移载部，具有与所述基板抵接并对所述基板施加水平方向的推动力的抵接部位，所述移载部进行向所述搬运部搬入所述基板的动作以及从所述搬运部搬出所述基板的动作中的至少一种；切换部，通过变更所述搬运部的所述保持部位与所述移载部的所述基板抵接部位之间的相对高度，来在第一状态与第二状态之间进行切换，所述第一状态为，在比所述抵接部位与所述基板抵接的情况下的所述基板的位置更高的位置，所述保持部位保持所述基板的状态，所述第二状态为，在比被所述保持部位保持的情况下的所述基板的位置更高的位置，所述抵接部位与所述基板抵接的状态；以及，浮起部，在所述第一状态和所述第二状态下，分别从所述基板的下方向所述基板提供浮力来使该基板浮起，从而将所述基板控制为水平姿势。