[发明专利]一种X射线波带片制备系统

摘要

本发明涉及一种X射线波带片制备系统。所述系统包括：腔室；第一前驱体通入管路，第一前驱体通入管路与腔室的一端连通，用于将第一前驱体输送进腔室；第二前驱体通入管路，第二前驱体通入管路与腔室的一端连通，用于将第二前驱体输送进腔室；夹具，夹具设置在腔室内，用于固定柱状细丝形的衬底；马弗炉，马弗炉包裹着腔室，用于加热腔室；抽气管路，抽气管路的一端与腔室的另一端连通；真空泵，真空泵与抽气管路的另一端相连，真空泵通过抽气管路将腔室内抽为真空。本发明可以实现同时在多根柱状细丝形的衬底上实现两种波带片材料交替生长，提高波带片的加工效率。

主权项

1.一种X射线波带片制备系统，其特征在于，所述系统包括：腔室；第一前驱体通入管路，所述第一前驱体通入管路与所述腔室的一端连通，用于将第一前驱体输送进所述腔室；第二前驱体通入管路，所述第二前驱体通入管路与所述腔室的一端连通，用于将第二前驱体输送进所述腔室；夹具，所述夹具设置在所述腔室内，用于固定柱状细丝形的衬底；马弗炉，所述马弗炉包裹着所述腔室，用于加热所述腔室；抽气管路，所述抽气管路的一端与所述腔室的另一端连通；真空泵，所述真空泵与所述抽气管路的另一端相连，所述真空泵通过所述抽气管路将所述腔室内抽为真空。