[发明专利]一种基于旋转CGH的非圆柱面干涉拼接测量系统及方法有效
| 申请号： | 201810029231.3 | 申请日： | 2018-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN108267094B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 彭军政;钟金钢 | 申请（专利权）人： | 暨南大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 李斌 |
| 地址： | 510632 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于旋转CGH的非圆柱面干涉拼接测量系统及方法，该系统包括菲索平面干涉仪、CGH柱面波转换器、待测非圆柱面、非圆柱面调整装置和精密转台；所述CGH柱面波转换器安装在精密转台上，并位于菲索平面干涉仪和待测非圆柱面之间，所述精密转台控制CGH柱面波转换器转动，使CGH柱面波转换器绕着自身的中心轴线旋转；所述待测非圆柱面安装在非圆柱面调整装置上；所述菲索平面干涉仪的光轴与CGH柱面波转换器的光轴重合，调整非圆柱面调整装置使待测非圆柱面的最佳拟合圆柱轴线与CGH柱面波转换器衍射的柱面波前的焦轴线重合。另外本发明的测量方法能够显著降低非圆柱面离轴子孔径的像差，准确测量非圆柱光学元件的面形误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 旋转 cgh 圆柱面 干涉 拼接 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于旋转CGH的非圆柱面干涉拼接测量系统，其特征在于，包括菲索平面干涉仪(1)、CGH柱面波转换器(2)、待测非圆柱面(3)、非圆柱面调整装置(4)和精密转台(5)；所述菲索平面干涉仪(1)用于产生平面波；所述CGH柱面波转换器(2)用于将平面波衍射成柱面波前，CGH柱面波转换器(2)安装在精密转台(5)上，并位于菲索平面干涉仪(1)和待测非圆柱面(3)之间；所述精密转台(5)用于控制CGH柱面波转换器(2)转动，使CGH柱面波转换器(2)绕着自身的中心轴线旋转；所述待测非圆柱面(3)安装在非圆柱面调整装置(4)上，所述非圆柱面调整装置(4)为一个五自由度的调整机构,用于调整待测非圆柱面(3)的空间位置，包括三个转动和二个直线运动；所述菲索平面干涉仪(1)的光轴与CGH柱面波转换器(2)的光轴重合；调整非圆柱面调整装置(4)使待测非圆柱面(3)的最佳拟合圆柱轴线与CGH柱面波转换器(2)衍射的柱面波前的焦轴线重合。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于暨南大学，未经暨南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810029231.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
