[发明专利]三氯氢硅的合成装置有效
申请号: | 201810029719.6 | 申请日: | 2018-01-12 |
公开(公告)号: | CN110028071B | 公开(公告)日: | 2021-01-22 |
发明(设计)人: | 张凯兴;万宁宁;李珑;齐元红;杨少军;王正坤;刘新岗;张正龙 | 申请(专利权)人: | 新特能源股份有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 罗建民;邓伯英 |
地址: | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本发明公开了一种三氯氢硅的合成装置,包括:硅粉干燥罐,用于加入硅粉,通入非氧化性气体作为硅粉的推料介质推送硅粉;硅粉加料过渡罐,用于通入非氧化性气体作为硅粉的推料介质推送硅粉;硅粉缓冲罐,用于缓冲硅粉,通入氯化氢作为硅粉的推料介质推送硅粉;三氯氢硅合成反应器,用于由硅粉缓冲罐加入的硅粉与通入的氯化氢反应生成三氯氢硅。本发明中三氯氢硅的合成装置中的硅粉缓冲罐,采用氯化氢作为硅粉的推料介质推送硅粉,可省去传统三氯氢硅合成工艺中配套的除氮装置,本发明提高了三氯氢硅合成反应器中反应得到的合成气中的三氯氢硅的分压,从而使得后续的合成气的分离提纯过程中进行冷凝时,三氯氢硅冷凝更加完全,三氯氢硅的收率提高。 | ||
搜索关键词: | 三氯氢硅 合成 装置 | ||
【主权项】:
1.一种三氯氢硅的合成装置,其特征在于,包括:硅粉干燥罐,用于加入硅粉,当第一阀门组打开时,第二阀门组关闭,硅粉干燥罐还用于通入非氧化性气体作为硅粉的推料介质推送硅粉;硅粉加料过渡罐,与硅粉干燥罐连接,硅粉干燥罐与硅粉加料过渡罐之间的连接管路上设置有第一阀门组,当第二阀门组打开时,第一阀门组、第三阀门组关闭,硅粉加料过渡罐用于通入非氧化性气体作为硅粉的推料介质推送硅粉;硅粉缓冲罐,与硅粉加料过渡罐连接,硅粉加料过渡罐与硅粉缓冲罐之间的连接管路上设置有第二阀门组,当第三阀门组打开时,第二阀门组关闭,硅粉缓冲罐用于缓冲硅粉,通入氯化氢作为硅粉的推料介质推送硅粉;三氯氢硅合成反应器,与硅粉缓冲罐连接,硅粉缓冲罐与三氯氢硅合成反应器之间的连接管路上设置有第三阀门组,三氯氢硅合成反应器用于由硅粉缓冲罐加入的硅粉与通入的氯化氢反应生成三氯氢硅。
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