[发明专利]防溅射分子沉结构

摘要

本发明涉及一种用于地面电推进试验等离子空间环境模拟设备中的防溅射系统技术领域，尤其涉及一种防溅射分子沉结构。防溅射分子沉结包括圆筒形防溅射靶和底端防溅射靶；圆筒形防溅射靶包括圆筒形防溅射靶骨架主体和圆筒形防溅射靶翅片组；圆筒形防溅射靶骨架主体包括第一管、第二管和第一冷却管；圆筒形防溅射靶翅片组与第一冷却管连接；底端防溅射靶包括底端防溅射靶骨架主体和底端防溅射靶翅片组；底端防溅射靶骨架主体包括第三管、第四管和第二冷却管；底端防溅射靶翅片组与第二冷却管连接。本发明在于提供一种防溅射分子沉结构，以解决现有技术中存在的防溅射靶对溅射产物及返流污染物的降低效果不佳的技术问题。

主权项

1.一种防溅射分子沉结构，其特征在于，包括圆筒形防溅射靶和底端防溅射靶；所述圆筒形防溅射靶包括圆筒形防溅射靶骨架主体和圆筒形防溅射靶翅片组；所述圆筒形防溅射靶骨架主体包括第一管、第二管和第一冷却管；所述第一冷却管呈环形，且所述第一冷却管有多个，多个所述第一冷却管的轴线方向重合；多个所述第一冷却管通过所述第一管和所述第二管固定连接，形成圆筒形，且所述第一管、所述第二管和多个所述第一冷却管之间均相连通；所述第一管上连接有第一进液口，所述第二管上连接有第一出液口；所述圆筒形防溅射靶翅片组与所述第一冷却管连接，形成所述圆筒形的侧壁，所述侧壁内形成腔体；所述底端防溅射靶包括底端防溅射靶骨架主体和底端防溅射靶翅片组；所述底端防溅射靶骨架主体包括第三管、第四管和第二冷却管；所述第三管上连接有第二进液口，所述第四管上连接有第二出液口；所述第二冷却管有多个，且多个所述第二冷却管沿垂直于所述第二冷却管的长度方向间隔设置；多个所述第二冷却管通过所述第三管和所述第四管固定连接，且所述第三管、所述第四管和多个所述第二冷却管之间均相连通；所述底端防溅射靶翅片组与所述第二冷却管连接，以封堵相邻所述第二冷却管之间的空隙；还包括连接管；所述连接管呈环形，所述第二进液口和所述第二出液口均和所述连接管连通；所述连接管通过所述第一管和所述第二管与所述第一冷却管连通，且所述连接管的轴线方向与所述圆筒形的轴线方向重合，所述连接管令所述底端防溅射靶形成所述圆筒形的底板。