[发明专利]长行程高精度压电位移台及其驱动方法有效
| 申请号： | 201810030486.1 | 申请日： | 2018-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN108062968B | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 程廷海;赵宏伟;卢晓晖;李恒禹;李义康;陈茜炎 | 申请（专利权）人： | 长春工业大学 |
| 主分类号： | G12B9/10 | 分类号： | G12B9/10;G12B5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130012 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种长行程高精度压电位移台及其驱动方法，解决了当前的压电粘滑位移平台存在的行程受限、运动不平稳以及承载能力弱等技术问题。本发明涉及的微位移平台包括固定基座、驱动定子、承载滑块、顶盖、导轨、螺纹副、定子安装螺钉、顶盖安装螺钉和导轨安装螺钉。所述驱动定子利用叠堆型压电陶瓷缓慢伸长带动柔性铰链的变形，通过向叠堆型压电陶瓷通以锯齿波电信号实现承载滑块的持续进给。本发明具有结构简单、稳定性高、行程大、负载能力强等特点，在光学精密仪器、半导体加工等微纳米驱动与定位领域具有很好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 行程 高精度 压电 位移 及其 驱动 方法 | ||
【主权项】：
1.一种长行程高精度压电位移台，其特征在于：为一种改进斜梯型定子组件实现方式的长行程高精度压电位移台包括固定基座（1）、驱动定子（2）、承载滑块（3）、顶盖（4）、导轨（5）、螺纹副（6）、定子安装螺钉（7）、顶盖安装螺钉（8）和导轨安装螺钉（9）；所述导轨（5）通过导轨安装螺钉（9）安装在固定基座（1）上，承载滑块（3）通过滑动接触方式安装在导轨（5）上，驱动定子（2）通过定子安装螺钉（7）安装在承载滑块（3）上，顶盖（4）通过顶盖安装螺钉（8）安装在承载滑块（3）上，螺纹副（6）通过胶粘安装固定在承载滑块（3）上。
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