[发明专利]多自由度压电粘滑微纳定位平台及其驱动方法有效
申请号: | 201810030489.5 | 申请日: | 2018-01-12 |
公开(公告)号: | CN108092545B | 公开(公告)日: | 2020-01-10 |
发明(设计)人: | 程廷海;于洋;高琪;卢晓晖;王英廷;李义康;张晓松 | 申请(专利权)人: | 长春工业大学 |
主分类号: | H02N2/00 | 分类号: | H02N2/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 130012 吉林*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明公开了一种多自由度压电粘滑微纳定位平台及其驱动方法,以解决现有多自由度运动平台存在的运动行程小、精度低、控制复杂等技术问题。该多自由度压电粘滑微纳定位平台由x向驱动组件、y向驱动组件、θ | ||
搜索关键词: | 定位平台 多自由度 压电叠堆 压电 粘滑 驱动组件 驱动 多自由度运动 光学精密仪器 位移转换机构 摩擦驱动力 超精加工 空间机构 连接螺钉 摩擦阻力 伸缩变形 生命科学 旋转组件 运动行程 大行程 斜向力 伸长 动子 高端 减小 上壳 应用 | ||
【主权项】:
1.一种多自由度压电粘滑微纳定位平台,为一种双叠堆拱形定子组件实现方式的多自由度压电粘滑微纳定位平台包括x向驱动组件(1)、y向驱动组件(2)、θ
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