[发明专利]底端防溅射靶有效
| 申请号： | 201810030583.0 | 申请日： | 2018-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN108020434B | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 翁惠焱;郑鸿儒;李鑫 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01M99/00 | 分类号： | G01M99/00;F28D21/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 孙辉 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于地面电推进试验等离子空间环境模拟设备中的防溅射系统技术领域，尤其是涉及一种底端防溅射靶。底端防溅射靶包括底端防溅射靶骨架主体和底端防溅射靶翅片组；底端防溅射靶骨架主体包括第三管、第四管和第二冷却管；第三管上连接有第二进液口，第四管上连接有第二出液口；第二冷却管有多个，多个第二冷却管沿垂直于长度方向间隔设置；多个第二冷却管通过第三管和第四管固定连接，第三管、第四管和多个第二冷却管之间相连通；底端防溅射靶翅片组与第二冷却管连接，以封堵相邻第二冷却管之间的空隙。本发明在于提供一种底端防溅射靶，解决现有技术中存在的防溅射靶对溅射产物及返流污染物的降低效果不佳的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 底端 溅射 | ||
【主权项】：
1.一种底端防溅射靶，其特征在于，包括底端防溅射靶骨架主体和底端防溅射靶翅片组；所述底端防溅射靶骨架主体包括第三管、第四管和第二冷却管；所述第三管上连接有第二进液口，所述第四管上连接有第二出液口；所述第二冷却管有多个，且多个所述第二冷却管沿垂直于所述第二冷却管的长度方向间隔设置；多个所述第二冷却管通过所述第三管和所述第四管固定连接，且所述第三管、所述第四管和多个所述第二冷却管之间均相连通；所述底端防溅射靶翅片组与所述第二冷却管连接，以封堵相邻所述第二冷却管之间的空隙。
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