[发明专利]碰撞电离离子源有效
| 申请号： | 201810031852.5 | 申请日： | 2018-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN108305824B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | G·A·施温德;A·P·J·M·波特曼;S·凯洛格;L·V·科文;L·米尔 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/26 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 郑勇 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开了一种碰撞电离源。一个示例性的源包括：设置为接收气体和带电粒子束的电离区域，其中带电离子束电离至少部分气体；以及设置为将气体提供到电离区域的供应管道，其中供应管道具有从输入孔向输出孔减少的非均匀高度，输出孔邻近电离区域设置。 | ||
| 搜索关键词： | 碰撞 电离 离子源 | ||
【主权项】：
1.一种碰撞电离离子源，包括：一对堆叠的板，其中夹有介入性的间隙；设置在所述板的第一个板中的输入区，该输入区使带电粒子的输入光束进入所述间隙；位于所述输入区的对面并设置在所述板的第二个板中的输出区，该输出区允许从所述间隙发射离子流；位于所述输入区和输出区之间的气体空间，其中能够用所述输入光束对气体电离从而生成所述粒子；以及位于所述间隙中的供应管道，用于将所述气流供应到所述气体空间，并且该供应管道包括：通向所述气体空间的进气孔；和能够连接至气体供应器的出气孔，所述管道包括至少一个位于所述进气孔和所述出气孔之间的过渡区，其中所述管道垂直于所述板测量的内部高度从第一高度值减少到第二高度值。
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