[发明专利]自准直式中阶梯光栅衍射效率测试装置在审
| 申请号： | 201810032110.4 | 申请日： | 2018-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN108254161A | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 孙慈;王明佳;崔继承;杨晋;冯树龙;李天骄;宋楠;朱继伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 赵勍毅 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自准直式中阶梯光栅衍射效率测试装置：光源系统用于提供连续光及激光；单色系统用于将光源系统提供的连续光变为单色光出射到测试系统的入口处；测试系统包括第三球面镜、待测中阶梯光栅、待测平面镜及第四平面镜，从入口处进来的光依次经过第三球面镜反射至待测中阶梯光栅或待测平面镜，反射回第三球面镜，再反射至第四平面镜，最后进入接收系统，测试系统为自准直式结构，用于在准李特罗条件下测试待测中阶梯光栅的衍射效率；接收系统包括狭缝和光电倍增管，狭缝的作用是遮挡待测中阶梯光栅的非测试级次衍射光，光电倍增管用于接收中阶梯光栅测试级次的衍射光强。本发明特别适用于紫外及近红外的中阶梯光栅的相对衍射效率检测。 | ||
| 搜索关键词： | 阶梯光栅 平面镜 测试系统 球面镜 自准直 反射 衍射效率测试 光电倍增管 光源系统 接收系统 连续光 入口处 衍射光 测试 式中 狭缝 衍射效率检测 单色系统 衍射效率 单色光 出射 遮挡 激光 | ||
【主权项】：
1.一种自准直式中阶梯光栅衍射效率测试装置，其特征在于，包括：光源系统，用于提供连续光及激光；单色系统，用于将所述光源系统提供的连续光变为单色光出射到所述测试系统的入口处；测试系统，所述测试系统包括第三球面镜、待测中阶梯光栅、待测平面镜及第四平面镜，从所述入口处进来的光依次经过所述第三球面镜反射至所述待测中阶梯光栅或待测平面镜，反射回所述第三球面镜，再反射至第四平面镜，最后进入所述接收系统，所述测试系统为自准直式结构，用于在准李特罗条件下测试待测中阶梯光栅的衍射效率；接收系统，所述接收系统包括狭缝和光电倍增管，所述狭缝的作用是遮挡待测中阶梯光栅非测试级次的衍射光，光电倍增管用于接收中阶梯光栅测试级次的衍射光强。
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