[发明专利]一种超长氧化锌微米线的制备方法

摘要

本发明涉及氧化锌微米线制备方法技术领域，提供了一种超长氧化锌微米线的制备方法，包括利用磁控溅射的方法在硅衬底上制备氧化锌薄膜；然后氧化锌粉、碳粉和砷化镓，做为反应源放在陶瓷舟中；硅衬底放在反应源的沿气流方向的偏下方；将陶瓷舟放在干净的石英管中，再将石英管放置在水平管式炉的生长区；利用氩气作为保护气，经升温、保温、降温后制得超长氧化锌微米线。借此，本发明通过采用磁控溅射的方法在硅衬底上制备很薄的氧化锌薄膜作为生长氧化锌微米线的籽晶层，再用化学气相沉积的方法生长截面为四边形的超长氧化锌微米线。微米线的形貌均一，截面为四面形，其长度可达1‑2厘米，更有利于人工操作。本发明的方法成本低且具有很好的重复性。

主权项

1.一种超长氧化锌微米线的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：第一步：选用高纯金属Zn和高纯氧气作为生长源，利用磁控溅射的方法在硅衬底上制备氧化锌薄膜；生长参数为：生长温度400℃，生长室真空度1Pa，样品台转速20转/min,射频源功率130W，生长时间1小时；气体流量：氩气为30sccm、氧气为10sccm；第二步：将氧化锌粉、碳粉和砷化镓经过长时间研磨得到的粉末混合均匀，做为反应源放在陶瓷舟中；并将第一步制得的具有氧化锌薄膜的硅衬底放在所述反应源的沿气流方向的偏下方；然后将所述陶瓷舟放在干净的石英管中，再将石英管放置在水平管式炉的生长区；在常压下，以24℃/min的速度加热升温；在950～1050℃，保温30分钟，然后自动降温直至室温；得所述超长氧化锌微米线；在整个的升温、保温、降温过程中持续通有高纯氩气作为保护气；所述氧化锌粉的纯度＞99.99％；所述氧化锌粉、碳粉和砷化镓的质量比为1：1：0.1。