[发明专利]带电粒子束装置有效
| 申请号： | 201810034839.5 | 申请日： | 2018-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN108335961B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 富松聪;佐藤诚;铃木将人 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/30 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供带电粒子束装置，其自动地重复进行取出通过离子束对试样的加工而形成的试样片并移置到试样片支架上的动作。该带电粒子束装置从试样自动地制作出试样片，其具有：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样台，其载置并移动试样；试样片移置单元，其保持从试样分离和取出的试样片并进行输送；支架固定台，其对移置有试样片的试样片支架进行保持；导通传感器，其检测试样片移置单元与对象物之间的导通；以及计算机，其在将试样片移置单元和试样片连接起来时导通传感器未检测到试样片移置单元与试样片之间的导通的情况下，设定时间管理模式。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束装置，其从试样自动地制作出试样片，其特征在于，其具有：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样台，其载置并移动所述试样；试样片移置单元，其保持从所述试样分离和取出的所述试样片并进行输送；支架固定台，其对移置有所述试样片的试样片支架进行保持；导通传感器，其检测所述试样片移置单元与对象物之间的导通；以及计算机，其在将所述试样片移置单元和所述试样片连接起来时所述导通传感器未检测到所述试样片移置单元与所述试样片之间的导通的情况下，设定以下的时间管理模式：根据以下各工序是否持续了规定的时间，在将所述试样片移置单元和所述试样片连接或分离的工序中进行所述试样片移置单元与所述试样片的连接或分离是否完成的判定，在将所述试样片移置单元所保持的所述试样片和所述试样片支架连接或分离的工序中进行所述试样片移置单元所保持的所述试样片与所述试样片支架的连接或分离是否完成的判定。
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