[发明专利]CVI法制备SiC产生尾气的处理方法

摘要

本发明的CVI法制备SiC产生尾气的处理方法，所述设备包括：高温热解系统、冷却过滤系统、反应吸附系统、真空系统、水环过滤系统和引风系统。本发明的CVI法制备SiC产生尾气的处理设备采用多级联用处理的方法，对CVI‑SiC工艺所产生的尾气进行处理，充分考虑到尾气各组分，解决了尾气各组分处理的问题，消除了尾气遇空气易燃易爆等安全隐患，保障CVI‑SiC工艺过程的安全进行；同时，本发明所采用多级处理方法，各处理系统设计合理，功能专一，可保证设备长期使用，设备安全可靠，操作简便，维护简单。

主权项

1.一种CVI法制备SiC产生尾气的处理方法，其特征在于，包括如下设备：高温热解系统、冷却过滤系统、反应吸附系统、真空系统、水环过滤系统和引风系统，所述高温热解系统与所述冷却过滤系统连通，所述冷却过滤系统与所述反应吸附系统连通，所述反应吸附系统与所述真空系统连通，所述真空系统与所述水环过滤系统连通，所述水环过滤系统与所述引风系统连通；其中，所述高温热解系统包括高温热解炉、控制柜、电源柜和冷却水系统；所述高温热解炉采用感应加热方式，其加热的最高温度不小于2200℃，恒温区长径比为3～5；所述冷却过滤系统包括油过滤设备和挡板过滤设备；所述挡板过滤设备中采用的挡板的横截面为波浪状夹层结构，内通冷却水，且呈倾斜平行排布，倾斜角度为20°～50°，板间间距为10mm～40mm；所述反应吸附系统采用多孔碱性固态介质作为反应吸附介质，碱性固态介质主要成分为碱土金属氧化物颗粒和碳毡，所述碱土金属氧化物颗粒包括CaO和MgO；所述真空系统包括蝶阀、电磁截止阀和真空泵；所述水环过滤系统包括水环泵、汽水分离器、循环水管路、循环水箱和循环水箱供水系统；所述引风系统包括引风机和引风管路；利用上述的设备处理CVI法制备SiC产生的尾气的方法，包括如下步骤：高温热解处理：对CVI‑SiC沉积炉排除的尾气进行高温热解处理；冷却过滤：将所述高温热解处理步骤得到的气体冷却，然后过滤掉气体中的粉尘、焦油和高级硅烷化合物；反应吸附：将所述冷却过滤步骤得到的气体经过多孔碱性固态介质，对气体中的酸性气体及低沸点物质进行反应吸附；水环过滤：将所述反应吸附步骤得到的气体通过真空系统，然后进入水环泵进行碱性液态介质过滤，以过滤掉气体中的酸性物质；引风排出：将所述水环过滤步骤后得到的气体经引风系统抽至高空并排入大气。