[发明专利]确定虚拟信号传输线数量的测试装置、方法及半导体存储器有效
| 申请号： | 201810036206.8 | 申请日： | 2018-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN110047555B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 周步康 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G11C29/50 | 分类号： | G11C29/50;G11C29/56 |
| 代理公司： | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人： | 张臻贤;武晨燕 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种确定虚拟信号传输线数量的测试装置、方法及半导体存储器，测试装置包括多个测试电路，测试电路包括：第一晶体管；第二晶体管，第一晶体管的源极与第二晶体管的漏极连接至节点，并且存储阵列中的待测元件连接至节点，开启第一晶体管充电，开启第二晶体管放电，以测试待测元件的电容，存储阵列包括多个阵列单元，阵列单元包括从外到内依次设置的多组信号传输线，每组信号传输线分别连接至一个测试电路的节点，测试电路用于测量信号传输线的电容，以比较各组信号传输线的电容来确定边缘的虚拟信号传输线的数量，虚拟信号传输线的电容与位于内部的信号传输线的电容的差值大于预设值。本发明有利于增加DRAM有效利用面积。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 虚拟 信号 传输线 数量 测试 装置 方法 半导体 存储器 | ||
【主权项】：
1.一种存储阵列的电容测试装置，其特征在于，包括：多个测试电路，其中，每个所述测试电路包括：第一晶体管，包括连接至电源的漏极；第二晶体管，包括接地的源极，其中，所述第一晶体管的源极与所述第二晶体管的漏极连接至节点，并且存储阵列中的待测元件连接至所述节点；其中，当所述第一晶体管导通且所述第二晶体管关断，所述电源对所述待测元件充电，以及当所述第二晶体管导通且所述第一晶体管关断，对存储在所述待测元件中的电荷进行放电，以测试所述待测元件的电容。
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