[发明专利]一种多晶硅片、金刚线超声复合加工方法、加工装置及应用在审
| 申请号： | 201810038023.X | 申请日： | 2018-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN108357001A | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 鲍官培;黄丹丹;张春雨;乔印虎 | 申请（专利权）人： | 安徽科技学院 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 邓唯 |
| 地址： | 239000*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种多晶硅片的金刚线超声复合加工方法，属于太阳能硅片切割加工领域。该复合加工方法是：切割钢线往复切割多晶硅片的同时复合超声振动，所施加的超声振动方向与切割线运动方向和硅锭进给方向所形成的平面垂直。所施加的超声振动可以对工件施加也可以对切割钢线施加。该复合加工方法在金刚线运动切割产生沿钢线运动方向微缺陷中心的同时，复合超声振动在硅锭进给方向也产生微缺陷中心，在整个硅片表面形成较为均匀的微缺陷中心，有利于后续多晶硅片的制绒，能够形成均匀致密的陷光结构绒面，有利于多晶硅片转换效率的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶硅片 金刚线 微缺陷 施加 超声复合加工 超声振动 复合超声 复合加工 切割钢线 硅锭 进给 切割线运动 太阳能硅片 硅片表面 加工装置 均匀致密 平面垂直 切割加工 往复切割 陷光结构 转换效率 钢线 绒面 制绒 切割 应用 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅片，在多晶硅片的表面有线条状缺陷，其特征在于，所述的线条状缺陷在表面为均匀分布。
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