[发明专利]对比度可调点衍射干涉系统中波片设计及误差校正方法有效
| 申请号： | 201810038732.8 | 申请日： | 2018-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN108332653B | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 杨甬英;李瑶;陈元恺;王晨 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 33200 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 忻明年 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种对比度可调点衍射干涉系统中波片设计及误差校正方法。本发明采用在检测路中放置四分之一波片的方式进行光束偏振态的调整，进而实现干涉条纹对比度可调。本发明解决了波片放置于发散球面波中引入较大波前误差的问题。本发明的技术特点在于，波片采用凸面为非球面的平凸玻璃基底，在平面镀偏振膜层。利用波片基底的偶次非球面设计极大地降低了大数值孔径球面检测时引入的波前畸变像差。通过建立差分复原模型对波片引入的位姿误差进行校正。由于偶次非球面四分之一波片在检测路中的设计位置是固定的，因而位姿误差校正完成后，波片位置无需根据待测镜数值孔径的变化进行调整。本发明使点衍射系统调整简单，并且提高了检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 波片 误差校正 可调 点衍射干涉系统 四分之一波片 偶次非球面 检测 基底 位姿 引入 干涉条纹对比度 球面 大数值孔径 发散球面波 光束偏振态 波前畸变 波前误差 技术特点 偏振膜层 设计位置 数值孔径 衍射系统 固定的 平面镀 凸玻璃 测镜 非球 凸面 像差 复原 校正 | ||
【主权项】：
1.对比度可调点衍射干涉系统中波片设计及误差校正方法，其特征在于对比度可调的点衍射干涉系统的波片为偶次非球面四分之一波片，偶次非球面四分之一波片包括凸面为偶次非球面的平凸透镜基底和镀在平面上的二氧化硅偏振膜层；/n平凸透镜基底的结构参数通过光线追迹模型求解，首先利用高斯公式求解针孔发出的近轴光线经过平凸透镜后像点的位置，然后利用光线追迹软件对检测路中的实际光线进行追迹，优化求解凸面以球面为基础曲面的非球面的高次项系数；/n误差校正方法实现如下：/n将偶次非球面四分之一波片放置于发散的球面波中，引入的波前误差分为玻璃基底引入的波前畸变像差以及偏振膜层引入的偏振像差；一方面，由于平凸透镜基底凸面的偶次非球面特性，引入的波前畸变像差对于待测镜面形误差检测的影响是可以忽略的；另一方面，由于偶次非球面四分之一波片在检测光路中的设计位置是固定的，则波片安装于理想位置时，引入的偏振像差的大小只受待测镜数值孔径的影响；因而经误差校正后的待测镜面形分布为W
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