[发明专利]掩膜版承载设备、抽真空方法及抽真空系统有效
| 申请号： | 201810041424.0 | 申请日： | 2018-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN108251793B | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 孙朴;吕守华;黄俊杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 滕一斌 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜版承载设备、抽真空方法及抽真空系统，属于显示技术领域。该掩膜版承载设备包括：卡夹、夹具、固定组件和控制组件，掩膜版放置在卡夹的内部，该掩膜版通过夹具固定在卡夹的内壁上；该固定组件设置在卡夹的两侧，用于卡接卡夹，固定组件与控制组件连接，控制组件用于带动固定组件转动以使卡夹中的掩膜版发生转动，转动后的掩膜版的版面与气流的流向平行，该气流是对掩膜版进行抽真空作业时产生的气流。本发明解决了相关技术中对掩膜版进行抽真空作业时气流中的颗粒总会附着在掩膜版上而影响OLED显示屏的质量，产品良率较低的问题，达到了提高OLED显示屏的质量，提高产品良率的效果。本发明用于对掩膜版进行抽真空。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 承载 设备 真空 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜版承载设备，其特征在于，所述掩膜版承载设备包括：卡夹、夹具、固定组件和控制组件，掩膜版放置在所述卡夹的内部，所述掩膜版通过所述夹具固定在所述卡夹的内壁上；所述固定组件设置在所述卡夹的两侧，用于卡接所述卡夹，所述固定组件与所述控制组件连接，所述控制组件用于带动所述固定组件转动以使所述卡夹中的掩膜版发生转动，转动后的掩膜版的版面与气流的流向平行，所述气流是对所述掩膜版进行抽真空作业时产生的气流。
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