[发明专利]基于激光传感器的平面三自由度宏微复合定位系统及方法有效
申请号: | 201810043098.7 | 申请日: | 2018-01-17 |
公开(公告)号: | CN108106547B | 公开(公告)日: | 2023-09-19 |
发明(设计)人: | 张宪民;余竞;谢凌波 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | G01B11/03 | 分类号: | G01B11/03 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 何淑珍;黄海波 |
地址: | 510640 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于激光传感器的平面三自由度宏微复合定位系统,包括支座平台、系统控制与驱动子系统、激光传感器测量与反馈子系统、设置在支座平台上的宏微并联平台子系统,所述宏微并联平台子系统包括3‑RRR宏动并联机构、3‑RRR微动柔顺并联机构,所述激光传感器测量与反馈子系统用于分别实时获取3‑RRR宏动并联机构、3‑RRR微动柔顺并联机构的输出动平台位置与姿态角偏差信号并反馈至所述系统控制与驱动子系统,所述系统控制与驱动子系统通过电路与宏微并联平台子系统电路连接。本发明还公开了一种基于激光传感器的平面三自由度宏微复合定位方法。本发明同时具备快速高效的平面三自由度粗定位和纳米级精定位功能。 | ||
搜索关键词: | 基于 激光 传感器 平面 自由度 复合 定位 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于激光传感器的平面三自由度宏微复合定位系统,其特征在于,包括支座平台、系统控制与驱动子系统、激光传感器测量与反馈子系统、设置在所述支座平台上的宏微并联平台子系统,所述的宏微并联平台子系统包括设置在支座平台上的3-RRR宏动并联机构、固定在所述3-RRR宏动并联机构输出动平台上的3-RRR微动柔顺并联机构,所述激光传感器测量与反馈子系统用于分别实时获取3-RRR宏动并联机构、3-RRR微动柔顺并联机构的输出动平台位置与姿态角偏差信号并反馈至所述系统控制与驱动子系统,所述的系统控制与驱动子系统通过电路与宏微并联平台子系统电路连接,用于实时控制宏微并联平台子系统末端位置。
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