[发明专利]成膜装置在审
| 申请号： | 201810043110.4 | 申请日： | 2018-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN110042347A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 前原诚;饭尾逸史 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种成膜装置，其以使包覆有绝缘膜的引线通过密封结构部并将其引出到外部的方式构成，该成膜装置能够减轻维修工作的负担，并提高装置的耐久性。该成膜装置具备真空腔室(3)、线圈(17)及冷却介质容纳部，设置于冷却介质容纳部的外壁的密封结构部(23)仅在冷却介质容纳部的外侧具备用于按压具有引线密封部(27a)的密封件(27)的按压盖(43)。通过仅在冷却介质容纳部的外侧具备按压盖(43)，检测时能够容易进行锁紧作业等，并能够减轻作业的负担。而且，组装时能够将适当的长度的引线(19)引出之后进行密封，因此不会有引线(19)的寿命超过设想而变短的情况，并能够提高成膜装置(1)的耐久性。 | ||
| 搜索关键词： | 成膜装置 冷却介质 容纳 密封结构 按压盖 按压 锁紧作业 提高装置 引线密封 真空腔室 绝缘膜 密封件 包覆 外壁 密封 组装 检测 外部 维修 | ||
【主权项】：
1.一种成膜装置，其具备：真空腔室；线圈，配置于该真空腔室内，并包覆有绝缘膜；及冷却介质容纳部，容纳用于冷却该线圈的冷却介质，该成膜装置的特征在于，在所述冷却介质容纳部的外壁设置有供形成所述线圈的引线贯通的密封结构部，在该密封结构部具备：密封件，具有与所述引线的绝缘膜接触的引线密封部；及按压盖，其用于仅在与存在所述冷却介质的一侧相反的一侧即所述冷却介质容纳部的外侧按压所述密封件。
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