[发明专利]一种多晶硅还原炉及其炉筒内壁功能层的制备工艺在审
| 申请号： | 201810044514.5 | 申请日： | 2018-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN108101062A | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 蒋文武;李玉忠;张敬亮 | 申请（专利权）人： | 江苏中能硅业科技发展有限公司;厦门佰事兴新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035;C22C19/07;C22C19/05;C23C4/129;C23C4/134;C23C4/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅还原炉，包括炉筒（1），炉筒安装在底盘（6）上，炉筒由炉筒内壁（3）和炉筒外壁（10）组成，炉筒外壁与炉筒内壁之间设置水腔（4），炉筒上、中、下部位分布至少3个视镜孔，视镜孔贯穿炉筒内壁、外壁，炉筒下部设有冷媒体进入口（5），炉筒上部设有冷媒体排出口（2），炉筒内壁上设有喷砂粗化层（11），喷砂粗化层上设有镍基钨合金和/或钴基钨合金形成的功能层。也公开了其功能层的制备工艺，通过等离子喷涂或超音速火焰喷涂工艺喷涂合金功能层。采用本发明的多晶硅还原炉，能够减少热量损失，达到5%～30%节电效果；提高多晶硅电阻率；炉筒内壁耐磨，使用时间长；便于修复炉筒内壁，提高还原炉利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 炉筒内壁 炉筒 功能层 多晶硅还原炉 炉筒外壁 制备工艺 粗化层 冷媒体 视镜孔 钨合金 喷砂 超音速火焰喷涂 等离子喷涂 节电效果 喷涂合金 热量损失 电阻率 多晶硅 还原炉 进入口 排出口 底盘 耐磨 镍基 水腔 外壁 钴基 修复 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅还原炉，包括炉筒（1），所述炉筒（1）安装在底盘（6）上，所述炉筒（1）由炉筒内壁（3）和炉筒外壁（10）组成，所述炉筒外壁（10）与炉筒内壁（3）之间设置水腔（4），所述炉筒（1）上、中、下部位分布至少3个视镜孔(7、8、9)，所述视镜孔贯穿炉筒内壁（3）、外壁（10），所述炉筒（1）下部设有冷媒体进入口（5），所述炉筒上部设有冷媒体排出口（2），其特征在于，所述炉筒内壁（3）上设有喷砂粗化层（11），所述喷砂粗化层（11）上设有功能层（12），所述功能层（12）为镍基钨合金和/或钴基钨合金形成的功能层。
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