[发明专利]一种三自由度定位平台有效
申请号: | 201810048604.1 | 申请日: | 2018-01-18 |
公开(公告)号: | CN108173408B | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 刘吉柱;沈琪;杨智涵;薛立伟;潘明强;王阳俊;黄海波;陈立国 | 申请(专利权)人: | 苏州大学 |
主分类号: | H02K41/02 | 分类号: | H02K41/02 |
代理公司: | 宁波高新区核心力专利代理事务所(普通合伙) 33273 | 代理人: | 袁丽花 |
地址: | 215104 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明揭示了一种三自由度定位平台,包括动平台和静平台。动平台包括安装座、动子部分以及旋转轴。静平台包括平台底座,设置在平台底座上的定子部分,平行设置在平台底座上的X方向直线导轨、设置在X方向直线导轨上的X方向导轨滑块、X方向转接板,以及平行设置在X方向转接板上的Y方向直线导轨、设置在Y方向直线导轨上的Y方向导轨滑块、旋转转接板,以及设置在旋转转接板上的轴承支架、设置在轴承支架上的轴承。轴承套设在旋转轴上,动子部分与定子部分对应设置并构成电磁驱动模块。本发明采用回字形结构定位平台,定子线圈采用集中绕组,简化了定位平台的结构,提高了功率密度,可实现长行程的精密定位,可用于IC制造业的精密定位。 | ||
搜索关键词: | 一种 自由度 定位 平台 | ||
所述动平台(100)包括安装座(16)、设置在所述安装座(16)上的动子部分以及旋转轴(20);
所述静平台(200)包括:
平台底座(1);
设置在所述平台底座(1)上的定子部分;
平行设置在所述平台底座(1)上的X方向直线导轨(7),设置在所述X方向直线导轨(7)上的X方向导轨滑块(8)、X方向转接板(9);以及
平行设置在所述X方向转接板(9)上的Y方向直线导轨(12),设置在所述Y方向直线导轨(12)上的Y方向导轨滑块(14)、旋转转接板(13);
以及设置在所述旋转转接板(13)上的轴承支架(5)、设置在所述轴承支架(5)上的轴承(6);
其中,所述轴承(6)套设在所述旋转轴(20)上,所述动子部分与所述定子部分对应设置并构成电磁驱动模块。
2.根据权利要求1所述的三自由度定位平台,其特征在于:所述X方向直线导轨(7)至少包括两条,两块X方向导轨滑块(8)分别滑动连接在所述两条X方向直线导轨(7)上,两块X方向转接板(9)分别设置在所述两块X方向导轨滑块(8)上,加强条(15)通过螺栓连接在平行设置的两块X方向转接板(9)上。3.根据权利要求1所述的三自由度定位平台,其特征在于:所述Y方向直线导轨(12)至少包括两条,所述Y方向直线导轨(12)与所述X方向直线导轨(7)垂直设置,两块Y方向导轨滑块(14)分别滑动连接在所述两条Y方向直线导轨(12)上,所述旋转转接板(13)的两端分别设置在所述两块Y方向导轨滑块(14)上。4.根据权利要求1所述的三自由度定位平台,其特征在于:所述定子部分包括四组呈回字形设置的定子铁芯(2;4;10;11),所述动子部分包括与所述定子(2;4;10;11)对应设置的S级磁钢和N级磁钢。5.根据权利要求4所述的三自由度定位平台,其特征在于:所述定子铁芯(2;4;10;11)上均嵌入有线圈绕组(3),并均采用集中绕组结构。6.根据权利要求4所述的三自由度定位平台,其特征在于:所述安装座(16)的中心部位设置有凹槽,磁钢定位块(19)固定安装在所述凹槽内;所述S级磁钢、N级磁钢固定在所述安装座(16)的凹槽处,所述S级磁钢和N级磁钢交错排列。7.根据权利要求1所述的三自由度定位平台,其特征在于:所述电磁驱动模块包括X方向电磁驱动模块(26;27),以及Y方向电磁驱动模块(28;29)。8.根据权利要求7所述的三自由度定位平台,其特征在于:所述三自由度定位平台还包括定位平台控制系统。9.根据权利要求8所述的三自由度定位平台,其特征在于:所述定位平台控制系统包括PC机(22)、CAN总线通讯模块(23)、X方向DSP控制器(24)、Y方向DSP控制器(25)、X方向激光位移传感器(30)、Y方向激光位移传感器(31;32)。10.根据权利要求9所述的三自由度定位平台,其特征在于:所述PC机(22)给出控制指令,通过CAN总线通讯模块(23),发送给X方向DSP控制器(24),实现X方向电磁驱动模块(26;27)沿X方向运动;发送给Y方向DSP控制器(25),实现对Y方向电磁驱动模块(28;29)沿Y方向运动;当控制指令按规律同时发给X方向DSP控制器(24)和Y方向DSP控制器(25)时,驱动四个呈回字型电磁驱动模块协同运动,从而可实现定位平台的旋转运动。该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州大学,未经苏州大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
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