[发明专利]一种三自由度定位平台有效

专利信息
申请号: 201810048604.1 申请日: 2018-01-18
公开(公告)号: CN108173408B 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 刘吉柱;沈琪;杨智涵;薛立伟;潘明强;王阳俊;黄海波;陈立国 申请(专利权)人: 苏州大学
主分类号: H02K41/02 分类号: H02K41/02
代理公司: 宁波高新区核心力专利代理事务所(普通合伙) 33273 代理人: 袁丽花
地址: 215104 江苏*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明揭示了一种三自由度定位平台,包括动平台和静平台。动平台包括安装座、动子部分以及旋转轴。静平台包括平台底座,设置在平台底座上的定子部分,平行设置在平台底座上的X方向直线导轨、设置在X方向直线导轨上的X方向导轨滑块、X方向转接板,以及平行设置在X方向转接板上的Y方向直线导轨、设置在Y方向直线导轨上的Y方向导轨滑块、旋转转接板,以及设置在旋转转接板上的轴承支架、设置在轴承支架上的轴承。轴承套设在旋转轴上,动子部分与定子部分对应设置并构成电磁驱动模块。本发明采用回字形结构定位平台,定子线圈采用集中绕组,简化了定位平台的结构,提高了功率密度,可实现长行程的精密定位,可用于IC制造业的精密定位。
搜索关键词: 一种 自由度 定位 平台
【主权项】:
1.一种三自由度定位平台,包括动平台(100)和静平台(200),其特征在于:

所述动平台(100)包括安装座(16)、设置在所述安装座(16)上的动子部分以及旋转轴(20);

所述静平台(200)包括:

平台底座(1);

设置在所述平台底座(1)上的定子部分;

平行设置在所述平台底座(1)上的X方向直线导轨(7),设置在所述X方向直线导轨(7)上的X方向导轨滑块(8)、X方向转接板(9);以及

平行设置在所述X方向转接板(9)上的Y方向直线导轨(12),设置在所述Y方向直线导轨(12)上的Y方向导轨滑块(14)、旋转转接板(13);

以及设置在所述旋转转接板(13)上的轴承支架(5)、设置在所述轴承支架(5)上的轴承(6);

其中,所述轴承(6)套设在所述旋转轴(20)上,所述动子部分与所述定子部分对应设置并构成电磁驱动模块。

2.根据权利要求1所述的三自由度定位平台,其特征在于:所述X方向直线导轨(7)至少包括两条,两块X方向导轨滑块(8)分别滑动连接在所述两条X方向直线导轨(7)上,两块X方向转接板(9)分别设置在所述两块X方向导轨滑块(8)上,加强条(15)通过螺栓连接在平行设置的两块X方向转接板(9)上。

3.根据权利要求1所述的三自由度定位平台,其特征在于:所述Y方向直线导轨(12)至少包括两条,所述Y方向直线导轨(12)与所述X方向直线导轨(7)垂直设置,两块Y方向导轨滑块(14)分别滑动连接在所述两条Y方向直线导轨(12)上,所述旋转转接板(13)的两端分别设置在所述两块Y方向导轨滑块(14)上。

4.根据权利要求1所述的三自由度定位平台,其特征在于:所述定子部分包括四组呈回字形设置的定子铁芯(2;4;10;11),所述动子部分包括与所述定子(2;4;10;11)对应设置的S级磁钢和N级磁钢。

5.根据权利要求4所述的三自由度定位平台,其特征在于:所述定子铁芯(2;4;10;11)上均嵌入有线圈绕组(3),并均采用集中绕组结构。

6.根据权利要求4所述的三自由度定位平台,其特征在于:所述安装座(16)的中心部位设置有凹槽,磁钢定位块(19)固定安装在所述凹槽内;所述S级磁钢、N级磁钢固定在所述安装座(16)的凹槽处,所述S级磁钢和N级磁钢交错排列。

7.根据权利要求1所述的三自由度定位平台,其特征在于:所述电磁驱动模块包括X方向电磁驱动模块(26;27),以及Y方向电磁驱动模块(28;29)。

8.根据权利要求7所述的三自由度定位平台,其特征在于:所述三自由度定位平台还包括定位平台控制系统。

9.根据权利要求8所述的三自由度定位平台,其特征在于:所述定位平台控制系统包括PC机(22)、CAN总线通讯模块(23)、X方向DSP控制器(24)、Y方向DSP控制器(25)、X方向激光位移传感器(30)、Y方向激光位移传感器(31;32)。

10.根据权利要求9所述的三自由度定位平台,其特征在于:所述PC机(22)给出控制指令,通过CAN总线通讯模块(23),发送给X方向DSP控制器(24),实现X方向电磁驱动模块(26;27)沿X方向运动;发送给Y方向DSP控制器(25),实现对Y方向电磁驱动模块(28;29)沿Y方向运动;当控制指令按规律同时发给X方向DSP控制器(24)和Y方向DSP控制器(25)时,驱动四个呈回字型电磁驱动模块协同运动,从而可实现定位平台的旋转运动。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州大学,未经苏州大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201810048604.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top