[发明专利]用于测量至少一个长度被测对象的测量装置和方法

摘要

本发明涉及用于确定工件的长度被测对象的测量装置及方法。探针单元在第一空间方向上不可移动地设置在其上的载件部分能够借助定位装置移动或定位。至少一个激光干涉仪在第一空间方向上不可移动地连接到载件部分。借助第一激光测量束和第二激光测量束，激光干涉仪产生第一测量信号以及第二测量信号，该第一测量信号描述激光干涉仪在第一空间方向上距第一反射器的距离，该第二测量信号描述激光干涉仪在第一空间方向上距第二反射器的距离。在第一空间方向上相对于载件部分或探针单元不可动并且与该第一空间方向成直角地延伸的探针系统平面因此具有在第一空间方向上的位置，该位置能够借助激光干涉仪距第一反射器和第二反射器的距离而确定。

主权项

1.一种用于测量至少一个长度被测对象的测量装置（10），具有机座（11），载件部分（13）在至少一个自由度（x）上可移动地安装在所述机座上，具有定位装置（12），所述定位装置被设计成在至少一个自由度（x）上定位所述载件部分（13），具有探针单元（18），所述探针单元被设计成探测工件并且被设置在所述载件部分（13）上，其中，所述载件部分（13）限定探针系统平面（E），所述探针系统平面相对于所述载件部分（13）的位置是固定的，具有至少一个干涉仪装置（23），所述干涉仪装置具有激光干涉仪（24），所述激光干涉仪被设计成在第一发射方向（x1）上朝向第一反射器（25）发射第一激光测量束（L1）并且接收在所述第一反射器（25）处反射的所述第一激光测量束（L1），并且所述激光干涉仪被设计成在与所述第一发射方向（x1）相对的第二发射方向（x2）上朝向第二反射器（26）发射第二激光测量束（L2）并且接收在所述第二反射器（26）处反射的所述第二激光测量束（L2），其中，所述第一发射方向和第二发射方向（x1、x2）与所述探针系统平面（E）成直角地取向，其中，当所述激光干涉仪（24）设置在所述载件部分（13）上时，所述第一反射器（25）和所述第二反射器（26）设置在所述机座（11）上，以及其中，当所述激光干涉仪（24）设置在所述机座（11）上时，所述第一反射器（25）和所述第二反射器（26）设置在所述载件部分（13）上，具有评估单元（4），所述评估单元被设计成在所述激光测量束（L1、L2）行进的路径的基础上确定所述探针系统平面（E）相对于所述反射器（25、26）和/或所述机座（11）的位置。