[发明专利]可变速比隧道式溅射镀膜机

摘要

本发明公开了一种可变速比隧道式溅射镀膜机。该可变速比隧道式溅射镀膜机包括镀膜筒、射频离子源、镀膜挂架以及挂架驱动部件，镀膜筒包括内筒以及外筒，内筒以及外筒之间具有间隔且该间隔形成镀膜腔，内筒的两端以及外筒的两端对应封闭连接使得镀膜腔呈封闭状，外筒的朝向镀膜腔的内壁上或者内筒朝向镀膜腔的内壁上设有多个镀膜靶槽，射频离子源连接在外筒的朝向镀膜腔的内壁上或者内筒朝向镀膜腔的内壁上，镀膜挂架呈环状，镀膜挂架位于镀膜腔内且镀膜挂架套设于内筒，镀膜挂架上连接有多个挂杆，多个挂杆平行且呈环状排列，挂架驱动部件连接于镀膜挂架以用于驱动镀膜挂架转动。该可变速比隧道式溅射镀膜机能够有效提升产能以及效率。

主权项

1.一种可变速比隧道式溅射镀膜机，其特征在于，包括镀膜筒、射频离子源、镀膜挂架、挂架驱动部件以及自转驱动部件，所述镀膜筒包括内筒以及外筒，所述内筒以及所述外筒之间具有间隔且该间隔形成镀膜腔，所述镀膜腔的两端封闭，所述外筒朝向所述镀膜腔的内壁上或者所述内筒朝向所述镀膜腔的外壁上设有多个镀膜靶槽，所述射频离子源连接在所述外筒朝向所述镀膜腔的内壁上或者所述内筒朝向所述镀膜腔的外壁上，所述镀膜挂架呈环状，所述镀膜挂架位于所述镀膜腔内且所述镀膜挂架套设于所述内筒，所述镀膜挂架上连接有多个用于供待镀基材放置的挂杆，所述挂架驱动部件连接于所述镀膜挂架以用于驱动所述镀膜挂架转动，所述自转驱动部件的数量与所述挂杆的数量一致，各个所述自转驱动部件均连接在所述镀膜挂架上，各个所述自转驱动部件上分别连接有一个所述挂杆，所述自转驱动部件用于驱动所述挂杆相对于所述镀膜挂架转动。