[发明专利]测量装置及用于操作测量装置的方法

摘要

本发明涉及一种测量装置及其操作方法。测量装置具有两个测量单元，每个测量单元具有探针单元。每个探针单元具有探针元件。每个探针元件在探测方向上具有外部探针侧以及与外部探针侧相对的内部探针侧。为了确定零位置或与探测方向成直角的参考平面，能够使两个探针元件经由其相应的外部探针侧或其相应的内部探针侧接触。一旦两个探针单元中的一个检测相关联的探针侧之间的接触，则借助两个探针元件之间的接触点将参考平面限定为在探测方向上的零位置。因此能够在不需要校准标准件或块规的情况下容易且精确地确定零位置。

主权项

1.一种测量装置（10），具有第一探针单元（16），所述第一探针单元设置在第一载件部分（15）上并且具有第一探针元件（18），所述第一探针元件在探测方向（x）上具有内部探针侧（18i）；具有第二探针单元（35），所述第二探针单元设置在第二载件部分（33）上并且具有第二探针元件（37），所述第二探针元件在所述探测方向（x）上具有内部探针侧（37i）；具有第一定位装置（14），所述第一定位装置被设计成在探测方向（x）上相对于机座（11）定位第一载件部分（15）；和/或具有第二定位装置（34），所述第二定位装置被设计成在所述探测方向（x）上相对于所述机座（11）定位所述第二载件部分（33）；其中，所述第一探针单元（16）被设计成产生第一探测信号（T1），所述第一探测信号指示所述第一探针元件（18）是否与物体接触，和/或其中，所述第二探针单元（35）被设计成产生第二探测信号（T2），所述第二探测信号指示所述第二探针元件（37）是否与物体接触；具有控制单元（30），所述第一和/或第二探测信号（T1、T2）被传送到所述控制单元，其中，所述控制单元（30）被设计成控制所述第一和/或第二定位装置（14、34）并且执行以下步骤：‑ 控制所述第一和/或第二定位装置（14、34），以便使所述第一探针元件（18）的所述内部探针侧（18i）与所述第二探针元件（37）的所述内部探针侧（37i）接触，‑ 当所述第一探测信号（T1）和/或所述第二探测信号（T2）指示两个探针元件（18、37）接触时，在所述探针元件（18、37）的接触点处确定与所述探测方向（x）成直角地取向的参考平面（B）。