[发明专利]基板夹持对位装置有效
| 申请号： | 201810050445.9 | 申请日： | 2018-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN108153008B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 彭浪 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂;王中华 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基板夹持对位装置。所述基板夹持对位装置包括：分布于基板四周的多个夹持头，每一个夹持头均包括：基座、夹持部、弹性部及力传感器；所述基座的一侧表面形成有容置槽，所述容置槽的槽底设有力传感器，所述夹持部设于所述容置槽内，所述弹性部位于所述夹持部和力传感器之间且与夹持部和力传感器接触；夹持对位时，所述夹持部远离所述槽底的一侧表面与所述基板接触，利用基座与夹持部之间的弹性部进行减震，能够减少夹持对位时夹持头对基板的冲击力，防止基板在夹持对位出现破裂，利用力传感器采集夹持对位时的基板所受的压力，对所述夹持对位时基板上压力进行管控，能够提升夹持对位的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 夹持 对位 装置 | ||
【主权项】：
一种基板夹持对位装置，其特征在于，包括：分布于基板(100)四周的多个夹持头(1)，每一个夹持头(1)均包括：基座(11)、夹持部(12)、弹性部(13)及力传感器(14)；所述基座(11)的一侧表面形成有容置槽(101)，所述容置槽(101)的槽底设有力传感器(14)，所述夹持部(12)设于所述容置槽(101)内，所述弹性部(13)位于所述夹持部(12)和力传感器(14)之间且与夹持部(12)和力传感器(14)接触；夹持对位时，所述夹持部(12)远离所述槽底的一侧表面与所述基板(100)接触。
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