[发明专利]一种金属工件超精密抛光方法有效
| 申请号： | 201810050806.X | 申请日： | 2018-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN108161584B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 蒋秋菊 | 申请（专利权）人： | 浙江天源特种材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B29/02;B24B57/02;C09G1/02 |
| 代理公司： | 11624 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 郭智 |
| 地址： | 311811 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种金属工件超精密抛光方法，属于精密加工领域。一种金属工件超精密抛光方法，所述方法为：室温下，将工件置于抛光液中，并控制抛光液以一定的流速流经工件的待抛光面，持续处理至少5min，所述抛光液按质量百分比，由1~25%的磨料颗粒和75~99%的基液组成，所述磨料颗粒由I级磨粒、II级磨粒和III级磨粒组成，所述I级磨粒、II级磨粒和III级磨粒的质量比为1:0.5~2:0.5~5，各级磨粒平均粒径为0.5~50微米，且I级磨粒＞II级磨粒＞III级磨粒。本发明所述抛光液中的磨料颗粒包括三个等级的磨粒，其磨粒平均粒径不同，可以有效去除材料表面不同程度的凸起。 | ||
| 搜索关键词： | 磨粒 抛光液 超精密抛光 金属工件 磨料颗粒 平均粒径 质量百分比 精密加工 抛光面 质量比 基液 去除 凸起 | ||
【主权项】：
1.一种金属工件超精密抛光方法，其特征是，所述方法为：室温下，将工件置于抛光液中，并控制抛光液以一定的流速流经工件的待抛光面，持续处理至少5min，所述抛光液按质量百分比，由1~25%的磨料颗粒和75~99%的基液组成，所述磨料颗粒由I级磨粒、II级磨粒和III级磨粒组成，所述I级磨粒、II级磨粒和III级磨粒的质量比为1:0.5~2:0.5~5，各级磨粒平均粒径为0.5~50微米，且I级磨粒＞II级磨粒＞III级磨粒，三种磨粒各自独立的选自金刚石颗粒、CBN颗粒、SiC颗粒，所述基液按下述方法制备所得， 包括下述工艺步骤：/n（1）将SiO
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