[发明专利]光阻预烘烤冷却系统有效
| 申请号： | 201810050856.8 | 申请日： | 2018-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN108227411B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 谌腾 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38;G03F7/42 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂;闻盼盼 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光阻预烘烤冷却系统，通过在预烘烤装置的加热腔体一侧设置水蒸气发生装置，并在加热腔体上设置进气口，能够利用水蒸气软化沉积于加热腔体的上盖板上的颗粒物，使所述颗粒物易于去除，有效提高上盖板的清洁度，避免在后续其它基板的预烘烤制程中沉积于上盖板上的颗粒物掉落至其它基板上影响产品性能，提升光阻预烘烤制程的生产良率；另外，通过在传递装置的箱体底部设置抽风机，能够利用抽风机的抽风作用将扩散至所述箱体内的溶剂与光阻升华物有效去除，提高箱体内壁的清洁度，避免所述溶剂与光阻升华物在箱体内壁沉积形成颗粒物，防止颗粒物在基板的传递过程中掉落于基板上，提高生产良率。 | ||
| 搜索关键词： | 光阻预 烘烤 冷却系统 | ||
【主权项】：
1.一种光阻预烘烤冷却系统(60)，其特征在于，包括：传递装置(10)、设于所述传递装置(10)周围的预烘烤装置(20)与冷却装置(30)；所述预烘烤装置(20)包括至少一个烘烤单元(21)，所述烘烤单元(21)包括加热腔体(201)及设于所述加热腔体(201)一侧的热风发生装置(202)与水蒸气发生装置(203)；所述加热腔体(201)包括相对设置的底板(211)与上盖板(212)、连接底板(211)与上盖板(212)的侧壁(213)，所述侧壁(213)上设有进风口(231)、进气口(232)及排气口(233)；所述进气口(232)设于所述进风口(231)靠近上盖板(212)一侧，所述排气口(233)与所述进风口(231)和进气口(232)相对设置；所述热风发生装置(202)靠近所述进风口(231)设置，所述水蒸气发生装置(203)靠近所述进气口(232)设置。
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