[发明专利]减压容器、处理装置、处理系统、以及制造平板显示器的方法有效
| 申请号： | 201810051045.X | 申请日： | 2018-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN108330448B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 森纯平;太田明 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社;佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C16/44 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李东晖 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种减压容器包括外壁，所述外壁包括第一构件。第一构件包括第一基部和第一肋部。第一基部包括具有四边形形状的第一表面。第一肋部设置在所述第一表面上。第一肋部包括：围绕所述第一表面的中心的第一肋；多个第二肋，所述多个第二肋连接至所述第一肋并且朝向所述第一表面的四边形形状的侧边延伸；以及多个第三肋，所述多个第三肋分别设置成与所述第一表面的四边形形状的相应角部相对、朝向形成所述第一表面的四边形形状的相应角部的相应成对侧边延伸、并且相互间隔开。本发明还涉及一种处理装置、一种处理系统、以及一种制造平板显示器的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 减压 容器 处理 装置 系统 以及 制造 平板 显示器 方法 | ||
【主权项】：
1.一种减压容器，包括：外壁，所述外壁包括第一构件，所述第一构件包括第一基部和第一肋部，所述第一基部包括具有四边形形状的第一表面，所述第一肋部设置在所述第一表面上，其中所述第一肋部包括：围绕所述第一表面的中心的第一肋；多个第二肋，所述多个第二肋连接至所述第一肋并且朝向所述第一表面的四边形形状的侧边延伸；以及多个第三肋，所述多个第三肋分别设置成与所述第一表面的四边形形状的相应角部相对、朝向形成所述第一表面的四边形形状的相应角部的相应成对侧边延伸、并且相互间隔开。
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