[发明专利]一种基于同步共振的压力检测装置及检测方法

摘要

本发明涉及一种基于同步共振的压力检测装置及检测方法，属于压力检测装置。包括2N个谐振单元、上基底和下基底，各谐振单元安装在边缘基座与中心基座之间，本发明利用布置于固支梁上的压电片的逆压电效应驱动梁振荡，当振动频率趋近于固支梁的固有频率时，通过耦合部分的作用，固支梁与悬臂梁发生同步共振，实现频率倍增。将N组数据进行误差对照，从而提高检测灵敏度和精度。在闭环反馈控制系统下对悬臂梁谐振频率进行检测，谐振频率的变化量表征待测压力的大小，具有高灵敏度、高精度、高分辨率的优点。

主权项

一种基于同步共振的压力检测装置，其特征在于：上基底的正面刻蚀上凹槽，在中心形成上单岛；上基底的背面刻蚀下凹槽，在中心形成下单岛，上凹槽内侧均布2N个边缘基座，N为正整数；上凹槽、下凹槽的圆心均位于上基底的轴线上，下基底上方与下单岛下方接触、且下基底与上基底四周固定连接在一起，2N个谐振单元的耦合部分分别与2N个边缘基座固定连接、固支梁分别与中心基底的侧面固定连接，中心基底的下方与上单岛上方接触。