[发明专利]流体控制装置以及泵有效
申请号: | 201810053507.1 | 申请日: | 2015-02-19 |
公开(公告)号: | CN108050051B | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | 平田笃彦;儿玉幸治 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | F04B43/04 | 分类号: | F04B43/04;F04B45/047 |
代理公司: | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李洋;青炜 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供流体控制装置以及泵。泵(1)具备:具有中央部(21)、框部(22)与连结部(23~26)的振动板(15);层叠于中央部(21),使振动板从中央部(21)到连结部(23~26)呈同心圆状弯曲振动的压电元件(16);以及层叠于框部(22),与连结部(23~26)隔开间隔地对置的对置板(13),振动板(15)具有在中央部(21)与连结部(23~26)分别产生振动的波腹的共振模式,对置板(13)在与连结部(23~26)对置的位置具有供流体流动的多个流路孔(39~43)。 | ||
搜索关键词: | 流体 控制 装置 以及 | ||
【主权项】:
1.一种流体控制装置,其中,/n所述流体控制装置具备:/n振动板,其具有中央部、包围所述中央部的周围的框部以及多个连结部,该多个连结部呈同心状配置于所述中央部的周围,并连结所述中央部与所述框部之间;/n驱动体,其层叠于所述中央部,使所述振动板从所述中央部到所述多个连结部以三阶以上的奇数阶的共振模式进行弯曲振动,使所述多个连结部上下反复移位;以及/n对置板,其层叠于所述框部,至少与所述多个连结部隔开间隔地对置,/n所述对置板在与所述多个连结部对置的位置具有供流体流动的多个流路孔,/n所述多个连结部的宽度大于所述流路孔的直径,所述连结部与所述流路孔整体重叠。/n
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