[发明专利]柔性显示基板及其制备方法在审
| 申请号： | 201810053538.7 | 申请日： | 2018-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN108320668A | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 来春荣;陈航;陈涛;宗记文;李俊峰 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | G09F9/30 | 分类号： | G09F9/30 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 王乐 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种柔性显示基板及其制备方法。柔性显示基板包括柔性衬底、缓冲层、以及位于柔性衬底与缓冲层之间的刻蚀终点指示层；刻蚀终点指示层用以当干法刻蚀缓冲层时指示刻蚀终点。上述柔性显示基板中，由于刻蚀终点指示层位于柔性衬底与缓冲层之间，刻蚀过程中，当干法刻蚀缓冲层至缓冲层与刻蚀终点指示层的界面时，刻蚀终点能够被抓取。因此，刻蚀过程能够及时停止，避免造成柔性衬底裸露，从而能够避免刻蚀腔室污染，有利于应用。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀终点 缓冲层 柔性显示 指示层 衬底 基板 干法刻蚀 刻蚀过程 制备 抓取 刻蚀腔室 时指示 裸露 污染 应用 | ||
【主权项】：
1.一种柔性显示基板，其特征在于，包括柔性衬底、缓冲层、以及位于所述柔性衬底与所述缓冲层之间的刻蚀终点指示层；所述刻蚀终点指示层用以当干法刻蚀所述缓冲层时指示刻蚀终点。
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