[发明专利]一种提高GaN基LED发光效率的蓝宝石图形衬底结构在审
| 申请号： | 201810054953.4 | 申请日： | 2018-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN108598232A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 孙一军;程志渊;周强;孙颖;孙家宝;刘艳华;王妹芳;盛况 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H01L33/12 | 分类号： | H01L33/12;H01L33/22;H01L33/46;H01L33/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 邱启旺 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高GaN基LED发光效率的蓝宝石图形衬底结构，它包括蓝宝石图形衬底以及沉积于所述蓝宝石图形衬底上的三明治反射结构，所述三明治反射结构包括沉积于所述蓝宝石图形衬底上的第一Al2O3多层结构、沉积于所述第一Al2O3多层结构上的布拉格反射器以及沉积于所述布拉格反射器上的第二Al2O3多层结构。本发明不仅可以提高GaN基LED材料质量，而且可以提高GaN基LED的发光效率，具有非常重要的商业价值。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石图形 沉积 多层结构 发光效率 衬底 三明治 布拉格反射器 衬底结构 反射结构 | ||
【主权项】：
1.一种提高GaN基LED发光效率的蓝宝石图形衬底结构，其特征在于，包括蓝宝石图形衬底(4)以及沉积于所述蓝宝石图形衬底(4)上的三明治反射结构，所述三明治反射结构包括沉积于所述蓝宝石图形衬底(4)上的第一Al2O3多层结构(3)、沉积于所述第一Al2O3多层结构(3)上的布拉格反射器(2)、以及沉积于所述布拉格反射器(2)上的第二Al2O3多层结构(1)。
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