[发明专利]多层复合结构稀土钡铜氧超导膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201810055537.6 | 申请日： | 2018-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN108565067A | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 冯峰;黄荣厦;杨置荣;汪林立;母辉;瞿体明 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | H01B13/00 | 分类号： | H01B13/00 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 王震宇 |
| 地址： | 518055 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了多层复合结构稀土钡铜氧超导膜及其制备方法，该制备方法包括：在基底上交替沉积REBa1+xCuO7‑y膜和金属层，形成的超导膜表示为(REBa1+xCuO7‑y/M)n，其中RE为稀土元素，M表示金属层，0.5≤x≤1,0 | ||
| 搜索关键词： | 超导膜 制备 多层复合结构 稀土钡铜氧 金属层 化学溶液 涂覆 物理气相沉积 基底上交替 热处理 稀土金属 稀土元素 前驱物 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种多层复合结构的稀土钡铜氧高温超导膜制备方法，其特征在于，包括：在基底上交替沉积REBa1+xCuO7‑y膜和金属层，形成的超导膜表示为(REBa1+xCuO7‑y/M)n，其中RE为稀土元素，M表示金属层，0.5≤x≤1,0
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