[发明专利]一种高通量筛选用Cr-Fe-V-Ta-W系高熵合金薄膜及其制备方法

摘要

本发明提供一种高通量筛选用Cr‑Fe‑V‑Ta‑W系高熵合金薄膜及其制备方法，属于高熵合金领域。本发明提供的高通量筛选用Cr‑Fe‑V‑Ta‑W系高熵合金薄膜，成分表达式为：(CraFebVc)100‑x(TadWe)x，6<x<100；a、b和c的取值满足Cr、Fe和V中任意两种元素的物质的量之差不超过各元素总物质的量的2％；d和e的取值满足Ta和W的物质的量之差不超过各元素总物质的量的3％；所述高通量筛选用Cr‑Fe‑V‑Ta‑W系高熵合金薄膜的横向为相同成分，纵向Cr、Fe和V的原子百分含量呈梯度分布。本发明方法简单，通量高，能够通过一次共溅射得到成分梯度分布的高通量筛选用Cr‑Fe‑V‑Ta‑W系高熵合金薄膜。

主权项

1.一种高通量筛选用Cr‑Fe‑V‑Ta‑W系高熵合金薄膜，其特征在于高熵合金的成分表达式为：(CraFebVc)100‑x(TadWe)x，6

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