[发明专利]一种拉晶系统在审
| 申请号： | 201810059354.1 | 申请日： | 2018-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN110067018A | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 邓先亮 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种拉晶系统。所述系统包括：热场冷却装置，所述热场冷却装置包括筒状吸热装置和在所述筒状吸热装置内部设置的冷却液回路，所述筒状吸热装置的长度方向与拉晶方向一致，所述冷却液回路沿所述长度方向设置，所述热场冷却装置用以冷却对坩埚内的硅熔体加热所产生的热场。根据本发明的拉晶系统，可在拉晶结束后采用热场冷却装置对拉晶室内的热场进行冷却，通过筒状吸热装置吸收热场的热量，并通过筒状吸热装置内的冷却液回路将热量带走，从而加快热场的冷却，提高了热场散热的效率，进一步提升拉晶制造工艺的效率，提升了产能。 | ||
| 搜索关键词： | 热场 拉晶 吸热装置 筒状 冷却装置 冷却 冷却液回路 长度方向设置 方向一致 内部设置 热量带走 制造工艺 硅熔体 冷却液 吸收热 散热 产能 对拉 坩埚 加热 室内 | ||
【主权项】：
1.一种拉晶系统，其特征在于，所述系统包括：热场冷却装置，所述热场冷却装置包括筒状吸热装置和在所述筒状吸热装置内部设置的冷却液回路，所述筒状吸热装置的长度方向与拉晶方向一致，所述冷却液回路沿所述长度方向设置，所述热场冷却装置用以冷却对坩埚内的硅熔体加热所产生的热场。
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