[发明专利]一种定点定域激光剥离装置在审
| 申请号： | 201810059667.7 | 申请日： | 2018-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN108265329A | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 李成明;刘鹏;张国义 | 申请（专利权）人： | 东莞市中晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/18 | 分类号： | C30B25/18;C30B29/40 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 罗晓林;杨桂洋 |
| 地址： | 523000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种定点定域激光剥离装置，包括壳体和设在壳体内的基片，基片下表面设有外延片，所述基片上表面设有增透膜、增反膜或非线性光学晶体，壳体外设有紫外光源和温控装置，该紫外光源发出的紫外线射向基片，温控装置与壳体连接，壳体上设有进气口和排气口。本发明利用光学传播媒质对激光传输效率的影响或对激光波长调制，经过局部激光剥离，达到GaN单晶材料与衬底局部消除耦合的办法，减轻外延材料与衬底的应力，提高产品品质。 | ||
| 搜索关键词： | 壳体 激光剥离装置 温控装置 紫外光源 衬底 进气口 非线性光学晶体 激光波长调制 基片上表面 产品品质 单晶材料 光学传播 激光传输 局部激光 局部消除 壳体连接 外延材料 紫外线射 排气口 外延片 下表面 增反膜 增透膜 耦合的 媒质 剥离 体内 | ||
【主权项】：
1.一种定点定域激光剥离装置，包括壳体和设在壳体内的基片，基片下表面设有外延片，其特征在于，所述基片上表面设有增透膜、增反膜或非线性光学晶体，壳体外设有紫外光源和温控装置，该紫外光源发出的紫外线射向基片，温控装置与壳体连接，壳体上设有进气口和排气口。
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