[发明专利]一种超精密二维运动平台系统位置精度补偿的方法在审
| 申请号： | 201810062298.7 | 申请日： | 2018-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN108303023A | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 黄胜洲 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 娄岳 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种超精密二维运动平台系统位置精度补偿的方法，通过拟合方法的处理，分离出标定板的放置误差和平台的系统误差，进而实现平台的位置精度补偿，克服已有超精密二维运动平台系统位置精度补偿方法的不足，使得对环境温度和标定板的放置位置要求不是特别的严苛。 | ||
| 搜索关键词： | 精度补偿 二维运动平台 系统位置 超精密 标定板 放置位置 系统误差 拟合 | ||
【主权项】：
1.一种超精密二维运动平台系统位置精度补偿的方法，其特征在于，包括如下步骤：1)选择加工误差较小的标定掩膜板，放置在运动平台的待标定区域范围内，该标定掩膜板在其表面的水平和垂直方向等间距分布有相同的对称图案；2)使用CCD相机视觉系统来获得对称图案的中心在运动平台上的实际坐标数据；3)将对应的理想坐标数据与实际坐标数据进行数据拟合计算得到计算拟合坐标数据；4)将所述理想坐标数据与计算拟合坐标数据求差，得到各个对称图案中心位置处的补偿数据；5)将得到的补偿数据以补偿表的形式加载到运动平台。
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