[发明专利]具有石墨烯气泡的石墨烯结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201810062548.7 | 申请日： | 2018-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN110065939B | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 狄增峰;贾鹏飞;薛忠营;郑晓虎;张苗;王曦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186;C01B32/194 |
| 代理公司： | 上海泰博知识产权代理有限公司 31451 | 代理人： | 钱文斌 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有石墨烯气泡的石墨烯结构及其制备方法，制备方法包括：提供一衬底；于衬底上表面形成氢钝化层和位于氢钝化层上表面的石墨烯层；将一探针置于石墨烯层上，并给探针施加一预设电压，以激发探针对应位置的部分氢钝化层转换成氢气，氢气使得其对应位置的石墨烯层凸起以形成包覆氢气的石墨烯气泡。通过上述方案，本发明提供一种具有石墨烯气泡的石墨烯结构以及该石墨烯结构的制备方法，本发明的技术方案可以精确地控制石墨烯气泡的形成位置，并实现了石墨烯气泡的大小以及形状等的高度可控，本发明的制备方法操作简单，具有很强的可操作性和实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 石墨 气泡 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有石墨烯气泡的石墨烯结构的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1)提供一衬底；2)于所述衬底上表面形成氢钝化层和位于所述氢钝化层上表面的石墨烯层；及3)将一探针置于所述石墨烯层上，并给所述探针施加一预设电压，以激发所述探针对应位置的部分所述氢钝化层转换成氢气，所述氢气使得其对应位置的所述石墨烯层凸起以形成包覆所述氢气的石墨烯气泡。
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