[发明专利]能降低偏振成像器件像元间光串扰的微透镜阵列在审
| 申请号： | 201810062611.7 | 申请日： | 2018-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN108231811A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 郭安然;伍明娟;高建威;皮晓静;向华兵 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十四研究所 |
| 主分类号： | H01L27/146 | 分类号： | H01L27/146;H01L27/148;G02B3/00;G02B5/18 |
| 代理公司： | 重庆乾乙律师事务所 50235 | 代理人： | 侯懋琪 |
| 地址： | 400060 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种能降低偏振成像器件像元间光串扰的微透镜阵列，包括像元阵列、平坦化层、光栅阵列和微透镜阵列；像元阵列由多个按阵列形式分布的像元组成；光栅阵列由多个按阵列形式分布的亚波长光栅组成；微透镜阵列由多个按阵列形式分布的微透镜组成；其创新在于：所述微透镜的直径与像元的对角线等长；相邻微透镜之间设置有隔离槽，隔离槽的深度达到光栅阵列表面。本发明的有益技术效果是：提出了一种用于偏振成像器件的微透镜阵列，该微透镜阵列能有效降低像元间的光串扰。 | ||
| 搜索关键词： | 微透镜阵列 像元 光栅阵列 偏振成像 阵列形式 光串扰 微透镜 像元阵列 隔离槽 对角线 亚波长光栅 技术效果 平坦化层 等长 | ||
【主权项】：
1.一种能降低偏振成像器件像元间光串扰的微透镜阵列，包括像元阵列、平坦化层(2)、光栅阵列和微透镜阵列；所述像元阵列由多个按阵列形式分布的像元(1)组成；所述光栅阵列由多个按阵列形式分布的亚波长光栅(3)组成；所述微透镜阵列由多个按阵列形式分布的微透镜(4)组成；所述平坦化层(2)设置在像元阵列表面，所述光栅阵列设置在平坦化层(2)表面，多个亚波长光栅(3)与多个像元(1)一一对应，所述微透镜阵列设置在光栅阵列表面，多个微透镜(4)与多个亚波长光栅(3)一一对应；相对应的微透镜(4)、亚波长光栅(3)和像元(1)三者同心；其特征在于：所述微透镜(4)的直径与像元(1)的对角线等长；相邻微透镜(4)之间设置有隔离槽(5)，隔离槽(5)的深度达到光栅阵列表面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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