[发明专利]金刚石砂轮及其制备方法在审
| 申请号： | 201810063237.2 | 申请日： | 2018-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN110065011A | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 项刚 | 申请（专利权）人： | 项刚 |
| 主分类号： | B24D18/00 | 分类号： | B24D18/00;C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 237300 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种金刚石砂轮，所述金刚石砂轮包括金刚石砂轮基体，以及设置在所述金刚石砂轮基体表面的纳米类金刚石涂层。以及，一种金刚石砂轮的制备方法，包括以下步骤：提供待处理的金刚石轮砂基体，进行表面清洁后，干燥处理；将所述金刚石轮砂基体置于PVD磁控溅射室中，以石墨作为靶材，以氩气和碳氢气体作为工作气体，在所述金刚石轮砂基体表面磁控溅射纳米类金刚石涂层，其中，所述磁控溅射过程中，溅射功率为1000W‑4000W，溅射频率40kHZ‑200KHZ，基底负偏压20V‑100V，基体温度30℃‑100℃。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石砂轮 磁控溅射 金刚石轮 金刚石砂轮基体 纳米类金刚石 制备 表面清洁 干燥处理 工作气体 基体表面 溅射功率 碳氢气体 氩气 负偏压 石墨 靶材 基底 溅射 | ||
【主权项】：
1.一种金刚石砂轮，其特征在于，所述金刚石砂轮包括金刚石砂轮基体，以及设置在所述金刚石砂轮基体表面的纳米类金刚石涂层。
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