[发明专利]一种大面积制备纳米光栅的方法在审
| 申请号： | 201810063299.3 | 申请日： | 2018-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN108333658A | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 耿照新;吕晓庆 | 申请（专利权）人： | 中央民族大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 贾晓玲 |
| 地址： | 100081 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种大面积制备纳米光栅的方法，属于微纳米加工技术领域。该方法利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料；将抽真空后的PDMS浇注在DVD光盘具有纳米结构的表面，得到PDMS软模板；将PDMS软模板的纳米图案区域与衬底充分贴合，通过金属刻蚀工艺将纳米结构转移到衬底上，形成金属纳米光栅。本发明由于采用整片DVD压印，可实现大面积制备，同时，固化的PDMS软模板的弹性性能好，可保证在压印过程中受力均匀，使得制备的大面积纳米结构具有优良的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 纳米结构 纳米光栅 衬底 聚二甲基硅氧烷 金属刻蚀工艺 微纳米加工 光栅 弹性性能 金属纳米 纳米图案 受力均匀 压印过程 抽真空 均匀性 浇注 贴合 压印 整片 固化 保证 | ||
【主权项】：
1.一种制备纳米光栅的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：把DVD光盘的两层基片分开；将具有纳米结构表面的基片放在培养皿中；步骤2：将聚二甲基硅氧烷(PDMS)的基本组份和固化剂以一定的质量比混合，放到真空干燥箱中常温抽真空一定时间，去除里面的气泡，得到无色透明的聚二甲基硅氧烷(PDMS)；步骤3：将聚二甲基硅氧烷(PDMS)浇注在具有纳米结构表面的DVD基片上，放入真空干燥箱常温下再次抽真空一定时间；步骤4：在烘箱中使聚二甲基硅氧烷(PDMS)固化后剥离，得到PDMS软模板；步骤5：通过金属刻蚀工艺，利用PDMS软模板在衬底上得到大面积的金属纳米光栅。
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