[发明专利]一种压电喷头结构及其制造方法有效
申请号: | 201810064321.6 | 申请日: | 2018-01-23 |
公开(公告)号: | CN110065305B | 公开(公告)日: | 2021-01-05 |
发明(设计)人: | 王诗男 | 申请(专利权)人: | 上海新微技术研发中心有限公司 |
主分类号: | B41J2/14 | 分类号: | B41J2/14;B41J2/16 |
代理公司: | 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535 | 代理人: | 刘元霞 |
地址: | 201800 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本申请提供一种压电喷头结构及其制造方法。该压电喷头结构,包括压电基板单元和围封部件,其中,所述压电基板单元包括:压电基板,在该压电基板的相对的两主面上分别形成的沟道;以及在该沟道的至少侧壁上形成的驱动电极,所述围封部件对该沟道的至少一部分进行围封,所述围封部件与所述沟道的侧壁和底面围合成压力腔室。根据本申请,在不降低喷嘴密度的情况下采用较厚的压电基板来制造压电喷头,从而可以减少加工时的压电基板破损,提高压电喷头制造工艺的容易性以及压电喷头的成品率、降低制造成本,并且在结构上容易实现高密度喷嘴排列,提高喷头性能和性价比。 | ||
搜索关键词: | 一种 压电 喷头 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种压电喷头结构,包括压电基板单元和围封部件,其中,所述压电基板单元包括:压电基板,在该压电基板的相对的两主面上分别形成的沟道;以及在该沟道的至少侧壁上形成的驱动电极,所述围封部件对该沟道的至少一部分进行围封,所述围封部件与所述沟道的侧壁和底面围合成压力腔室。
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