[发明专利]镀覆装置、基板架以及电阻测定模块在审
| 申请号： | 201810064597.4 | 申请日： | 2018-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN108344897A | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 长井瑞树;辻一仁;岸贵士;宫川俊树;下山正;藤方淳平 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;H01L21/67;H01L21/48 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 张丽颖 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 为了能够检测基板架的原因而导致的电阻的异常，提供一种用于测定基板架的电阻的电阻测定模块，所述基板架具有用于向被保持的基板供给电流的、能够与基板接触的电接点，所述基板架能够保持用于测定所述基板架的电阻的检查用基板，所述基板架构成为在保持检查用基板的状态下，所述电接点与所述检查用基板接触，所述电阻测定模块具有：能够与保持于所述基板架的检查用基板接触的检查探测器；以及用于对经由检查用基板而在所述电接点与所述探测器之间流动的电流的电阻值进行测定的电阻测定器。根据该电阻测定模块，能够测定基板架的电阻，能够检测基板架的电接点或电路径的异常。 | ||
| 搜索关键词： | 基板架 电阻 电阻测定 电接点 基板接触 基板 测定基板 检查 电阻测定器 检查探测器 镀覆装置 基板供给 基板架构 电路径 检测 探测器 流动 | ||
【主权项】：
1.一种电阻测定模块，所述电阻测定模块用于测定基板架的电阻，其特征在于，所述基板架具有用于向被保持的基板供给电流的、能够与基板接触的电接点，所述基板架能够保持用于测定所述基板架的电阻的检查用基板，所述基板架构成为在保持检查用基板的状态下，所述电接点与所述检查用基板接触，所述电阻测定模块具有：能够与保持于所述基板架的检查用基板接触的检查探测器；以及用于对经由检查用基板而在所述电接点与所述检查探测器之间流动的电流的电阻值进行测定的电阻测定器。
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