[发明专利]脊光波导的制备方法在审
| 申请号： | 201810064969.3 | 申请日： | 2018-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN108227074A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 刘嫱;耿敏明;于泳泽 | 申请（专利权）人： | 广西大学 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/136;H01S3/16 |
| 代理公司： | 广西南宁公平知识产权代理有限公司 45104 | 代理人： | 陈剑锋 |
| 地址： | 530004 广西壮族*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种脊光波导的制备方法，其步骤为：1)将近红外低频飞秒激光通过低倍显微镜头聚焦在中红外晶体材料Er:YSGG、Yb,Er,Ho:GYSGG或Er,Pr:GYSGG的表面，在聚焦区域及下方形成针状具有一定穿透深度的击裂；2)利用程控三维平台定向移动晶体，直写出间隔宽度可控的平行线；3)再将聚焦点平移和下移，利用激光功率的高斯分布移除平行击裂旁的部分材料，形成脊光波导。本发明的方法首次将飞秒激光直写技术应用于新型材料Er:YSGG、Yb,Er,Ho:GYSGG和Er,Pr:GYSGG上，脊光波导为二维波导，但利用飞秒激光直写技术制备波导激光器较其他制备技术而言更为快速高效且工艺步骤较简单,集成度高，可获得更好的光学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 光波导 制备 飞秒激光 直写 平行线 程控三维平台 波导激光器 低倍显微镜 平移 针状 定向移动 二维波导 高斯分布 工艺步骤 光学性能 红外晶体 激光功率 技术应用 聚焦区域 新型材料 集成度 聚焦点 可控的 下移 移除 穿透 平行 聚焦 | ||
【主权项】：
1.一种脊光波导的制备方法，其特征在于其步骤为：1)将近红外低频飞秒激光通过低倍显微镜头聚焦在中红外晶体材料Er:YSGG、Yb,Er,Ho:GYSGG或Er,Pr:GYSGG的表面，在聚焦区域及下方形成针状具有一定穿透深度的击裂；2)利用程控三维平台定向移动晶体，直写出间隔宽度可控的平行线；3)再将聚焦点平移和下移，利用激光功率的高斯分布移除平行击裂旁的部分材料，形成脊光波导。
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