[发明专利]非对称放大检查系统和照射模块有效
| 申请号： | 201810065447.5 | 申请日： | 2018-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN108345104B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 鲍里斯·戈尔伯格;翰·菲德门;伊多·多尔夫 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G02B23/02 | 分类号： | G02B23/02;G02B27/09 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种照射模块，包括一对变形棱镜，所述一对变形棱镜包括第一变形棱镜和第二变形棱镜；其中所述一对变形棱镜被构造为(a)接收沿着第一光轴传播的第一辐射束，和(b)非对称地放大所述第一辐射束以提供沿着平行于所述第一光轴的第二光轴传播的第二辐射束；以及直角棱镜，所述直角棱镜被构造为接收所述第二辐射束并且执行所述第二辐射束的侧向移位以提供第三辐射束；以及旋转机构，所述旋转机构被构造为通过旋转所述第一变形棱镜和所述第二变形棱镜中的至少一个来改变所述一对变形棱镜的非对称放大倍率。 | ||
| 搜索关键词： | 对称 放大 检查 系统 照射 模块 | ||
【主权项】：
1.一种照射模块，包括：一对变形棱镜，所述一对变形棱镜包括第一变形棱镜和第二变形棱镜；其中所述一对变形棱镜被构造为(a)接收沿着第一光轴传播的第一辐射束，和(b)非对称地放大所述第一辐射束以提供沿着第二光轴传播的第二辐射束，所述第二光轴平行于所述第一光轴；直角棱镜，所述直角棱镜被构造为接收所述第二辐射束并且执行所述第二辐射束的侧向移位以提供第三辐射束；和旋转机构，所述旋转机构被构造为通过旋转所述第一变形棱镜和所述第二变形棱镜中的至少一个来改变所述一对变形棱镜的非对称放大倍率。
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