[发明专利]一种射频微机械开关及其制作方法

摘要

本发明公开了一种射频微机械开关，包括：基底、设置在基底上的导通部，以及悬置于基底上方的第一接触部和第二接触部；导通部包括固定在基底上的固定电极、第一延伸臂及第二延伸臂；第一延伸臂上设置有第一驱动电极，以及与第一接触部正对的第一电连接部；第二延伸臂上设置有第二驱动电极，以及与第二接触部正对的第二电连接部；固定电极接地时，通过在第一驱动电极和第二驱动电极上分别施加相反的电压，分别驱动第一延伸臂与第二延伸臂朝相反的方向运动，实现第一电连接部与第一接触部、以及第二电连接部与第二接触部的导通或断开。本发明实施方式提供的射频微机械开关，能够减小插入损耗，提高高频段的隔离度和功率处理能力。

主权项

1.一种射频微机械开关，包括基底，以及设置在所述基底上的信号部和接地部，所述信号部与所述接地部相互绝缘，其特征在于，所述信号部包括形成在所述基底表面的信号主体以及自所述信号主体朝远离所述信号主体方向延伸并悬置于所述基底上方的信号触点，所述信号触点包括与所述基底正对的第一接触部以及连接所述第一接触部与所述信号主体的第一连接臂；所述接地部包括贴设在所述基底表面的接地主体以及自所述接地主体朝远离所述接地主体方向延伸且悬置于所述基底上方的接地触点，所述接地触点包括与所述基底正对的第二接触部以及连接所述第二接触部与所述接地主体的第二连接臂；所述射频微机械开关还包括：设置在所述基底上的导通部，所述导通部分别与所述信号主体及所述接地主体间隔设置，所述导通部包括固定在所述基底上的固定电极以及分别自所述固定电极朝所述信号主体方向延伸的第一延伸臂及朝所述接地主体方向延伸的第二延伸臂；所述第一延伸臂靠近所述固定电极的一端设置有第一驱动电极，所述第一延伸臂远离所述第一驱动电极的一端悬置于所述基底上方且具有与所述第一接触部正对的第一电连接部；所述第二延伸臂靠近所述固定电极的一端设置有第二驱动电极，所述第二延伸臂远离所述第二驱动电极的一端悬置于所述基底上方且具有与所述第二接触部正对的第二电连接部；所述第一延伸臂与所述第二延伸臂分别包含与所述驱动电极电连接的压电材料层；所述固定电极接地时，通过在所述第一驱动电极和第二驱动电极上分别施加相反的电压，分别驱动所述第一延伸臂与所述第二延伸臂以带动所述第一电连接部与所述第二电连接部朝靠近或远离所述基底的方向运动，实现所述第一电连接部与第一接触部、以及所述第二电连接部与所述第二接触部的导通或断开，所述第一电连接部与所述第二电连接部的运动方向相反。