[发明专利]一种MEMS传感器控制器电路有效
| 申请号： | 201810068856.0 | 申请日： | 2018-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN108255108B | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 熊兴崟;韩可都;李宗伟;俞度立 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 100027 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及MEMS技术领域，特别是涉及一种MEMS传感器控制器电路，包括：检测单元，将来自MEMS传感器的原始模拟信号转换为模拟电压信号；模数转换单元，将所述模拟电压信号转换为数字信号：环路滤波单元，用于调节控制电路系统参数；量化单元，用于转换数字信号位宽；反馈单元，用于产生反馈信号，调节MEMS传感元件。机械零点调节单元，用于接收量化单元和模数转换单元输出的信号，调节系统参数。本发明通过引入机械零点调节单元以及对环路滤波单元的改进实现了MEMS传感器系统全自由度的辨识和可调，在增加系统稳定性的同时提高了系统精度。 | ||
| 搜索关键词： | 模数转换单元 控制器电路 环路滤波 量化单元 零点调节 模拟电压信号转换 调节系统参数 控制电路系统 模拟电压信号 原始模拟信号 转换数字信号 传感元件 反馈单元 反馈信号 全自由度 数字信号 增加系统 辨识 可调 位宽 输出 引入 转换 检测 改进 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS传感器控制器电路，其特征在于，所述电路结构包括：检测单元，用于接收来自MEMS传感器的原始模拟信号，将其转换为模拟电压信号；模数转换单元，用于接收检测单元输出的信号，将所述模拟电压信号转换为数字信号：环路滤波单元，用于接收模数转换单元和量化单元输出的信号，调节控制电路系统参数；量化单元，用于接收环路滤波单元输出的信号，并转换数字信号位宽；反馈单元，用于接收量化单元输出的信号，产生反馈信号，调节MEMS传感元件；机械零点调节单元，用于接收量化单元和模数转换单元输出的信号，调节系统参数；所述机械零点调节单元包括：位移提取单元、参数调整单元和信号处理单元；其中，所述位移提取单元，用于接收模数转换单元输出的信号，并从模数转化单元输出的数字信号中提取传感器元件中检测质量块的位移；参数调整单元，用于接收量化单元输出的信号，用于补偿输入信号在量化单元和信号处理单元的衰减；信号处理单元，用于接收位移提取单元和参数调整单元输出的信号，用于调整系统噪声传递函数的机械零点的频率。
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