[发明专利]一种多晶硅铸锭设备

摘要

本发明公开了一种多晶硅铸锭设备，包括上炉室、下炉室、承重台、升降装置和炉室底座，所述上炉室内设有保温毡，所述保温毡内设有熔料坩埚，所述熔料坩埚与所述下炉室之间通过硅液导管相连接，所述下炉室包括保温罩，所述保温罩下部设有冷却板，所述保温罩和冷却板组成密封的腔室，所述腔室内设有结晶器，所述结晶器包括结晶坩埚、石墨护板和热交换块，所述冷却板下设有承重台，所述承重台通过升降装置与炉室底座相连。本发明结构简单，操作方便，安全可靠，可以有效提高多晶硅锭块的质量。

主权项

1.一种多晶硅铸锭设备，包括上炉室(1)、下炉室(2)、承重台(3)、升降装置(4)和炉室底座(5)，其特征在于：所述上炉室(1)内设有保温毡(11)，所述保温毡(11)内设有熔料坩埚(12)，位于所述熔料坩埚(12)与所述上炉室(1)保温毡(11)之间的空间内均匀设有若干第一加热器(13)，所述熔料坩埚(12)与所述下炉室(2)之间通过硅液导管(14)相连通，所述硅液导管(14)下端设有硅液喷管(15)，所述下炉室(2)包括保温罩(21)，所述保温罩(21)固定连接于上炉室(1)底面，所述保温罩(21)下部设有冷却板(22)，所述冷却板(22)与保温罩(21)下部拼接，所述保温罩(21)和冷却板(22)组成密封的腔室，所述腔室内设有结晶器(23)，所述结晶器(23)设于所述冷却板(22)上，所述结晶器(23)包括结晶坩埚(231)、石墨护板(232)和热交换块(233)，结晶坩埚(231)设置在由石墨护板(232)围构而成的内部空间结构内，结晶坩埚(231)的底部设置有热交换块(233)，所述结晶坩埚(231)外侧面设有第二加热器(24)，所述冷却板(22)下设有承重台(3)，所述承重台(3)通过升降装置(4)与炉室底座(5)相连。