[发明专利]极紫外光光罩容器

摘要

本发明公开了一种光罩容器，用于容设极紫外光光罩。光罩容器包括外盒总成及内盒总成，外盒总成用以容置内盒总成。内盒总成包括基座以及上盖。基座具有上表面及周缘，上表面设有多个定位件以界定出光罩承载位置。周缘连接并且围绕上表面。上表面包括承载面、沟槽及第一接面。光罩设置于光罩承载位置，以承载在承载面上。沟槽具连续环状结构，底部低于承载面。承载面、沟槽及第一接面依序由上表面内侧朝周缘配置。上盖具有凹腔及第二接面。凹腔用于容纳光罩，第二接面与第一接面配合以形成密封状态。基座上利用连续环状结构的沟槽来捕获或容置微粒，降低微粒移动到承载面与光罩间的机会，减缓光罩被微粒污染的问题。

主权项

1.一种极紫外光光罩容器，其特征在于，包括：外盒总成及内盒总成，所述外盒总成包括相互配合的上部分及下部分，从而界定出容置空间，用于容置所述内盒总成，所述内盒总成包括：基座，具有上表面及周缘，所述上表面设有凸出的多个定位件，界定出光罩承载位置，所述周缘连接且围绕所述上表面，所述上表面包括：承载面，极紫外光光罩用以设置于所述光罩承载位置，从而被承载在所述承载面上；沟槽，具连续环状结构，所述沟槽的底部低于所述承载面；及第一接面，所述承载面、所述沟槽及所述第一接面依序由所述上表面的内侧朝所述周缘配置；以及上盖，用以与所述基座对接，并且具有凹腔及第二接面，所述凹腔用以容纳所述极紫外光光罩，所述第二接面与所述第一接面相配合，用于形成密封状态。